【摘 要】
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本文介绍一种规范化的集成电路等微结构的描述工具,即微结构描述语言.对于所定义的微结构描述语言的各项先进特性,文章是结合一个CMOS结构实例来进行介绍的.在加工对象的结构
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,北京,100084
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
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本文介绍一种规范化的集成电路等微结构的描述工具,即微结构描述语言.对于所定义的微结构描述语言的各项先进特性,文章是结合一个CMOS结构实例来进行介绍的.在加工对象的结构描述基础上,可以提取结构特征和及进行结构分析;而对结构特征进行分析,将为接下来自动生成规范化的工艺流程,搜集和准备必要的结构信息.
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