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用PLD法在SI(100)上生长沿C轴取向LINbO薄膜的研究
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室(杭州)
【出 处】
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第七届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2000年12期
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