日立X-650型扫描电镜故障维修一例

来源 :2006年全国电子显微学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zap2050zap
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我单位自1982年购进日本日立公司X-650型扫描电子显微镜,至今已工作24年,该仪器使用率很高,在我校的教学和科研中发挥了重要作用.在使用过程中,仪器先后发生了一些故障,均由我室技术人员自行解决.本文将最近出现的一次故障维修经验总结,以供拥有相同型号电镜用户参考。
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