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本文介绍了Wyko表面轮廓仪两种测量模式的原理及特点。同时应用该仪器测量了一批双光子三维微加工与其它MEMS微细加工制作的微器件结构，测量结果说明其在测量微细加工器件的作用。
WYKO表面轮廓仪在微加工器件测量中的应用
【摘 要】
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本文介绍了Wyko表面轮廓仪两种测量模式的原理及特点。同时应用该仪器测量了一批双光子三维微加工与其它MEMS微细加工制作的微器件结构，测量结果说明其在测量微细加工器件的作
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥230027
【出 处】
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中国光学学会2004年学术大会
【发表日期】
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2004年期
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