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本文以SiCl<,4>为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO<,2>颗粒的制备技术与过程.制备了无定型的球形纳米SiO<,2>颗粒材料.
火焰CVD法制备SiO纳米颗粒材料的实验与理论研究
【摘 要】
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本文以SiCl为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO颗粒的制备技术与过程.制备了无定型的球形纳米SiO颗粒材料.
【机 构】
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大连理工大学化工学院(大连) 清华大学核能技术设计研究院(北京)
【出 处】
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2002年纳微粉体制备与技术应用研讨会
【发表日期】
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2002年4期
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