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本文采用覆压通网沉积铁膜方法在硅基上制备了催化剂模板。系统研究了制备工艺对碳纳米管阵列图形的影响,获得了具有良好外观的碳纳米管阵列图形。
研究发现了催化剂厚度和碳源气浓度在碳纳米管阵列制备过程中的动态平衡控制关系。即增加催化剂厚度,为了获得较好的碳纳米管阵列图形,就应当增加碳源气浓度,反之亦然。在本文的实验条件下生长时间在30min左右将获得具有最好的外部形貌的碳纳米管阵列块。