微制造技术相关论文
均匀液滴喷射快速成型是新近提出的一种快速制造技术,其原理为选择性带电均匀液滴作为沉积材料经过偏转电极后在基板上准确定位,逐......
随着微电子技术的发展,微制造已经成为一种发展趋势,出现了多种新型微成形工艺,但是随着微零件的几何尺寸的微小化,材料的流动应力......
量子点是三维尺寸都在纳米量级的半导体晶体，具有独特的光电性能，在生物标记，微电子技术和光电传感等领域的研究与应用方面具有极大的......
随着硅材料微制造技术的迅速发展,早在20实际70年代末期斯坦福大学就开发出硅微加工的气象色谱仪,随后人们又提出了制造微传感器、......
本文综述了生物／化学微传感器的技术和应用，详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺．给出......
本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用,详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺,......
【摘 要】微制造技术包括光刻、薄膜沉积、等离子体刻蚀、键合等技术，是集成电路制造、微机电系统、微光学等的关键技术。微制造设......
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关......
微细电火花加工技术是微细加工领域最重要的加工技术之一。脉冲电源技术是影响电火花加工工艺指标的重要因素。为研究微细电火花加......
本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简......
近5年许多研究和开发活动集中于进行小尺度反应这一未开发领域。着重分析了基于微反应器的生产装置设想的可行性以及它是否是一个......
综述了近年来与微型机电系统（MEMS）相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电......
阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在......
