复旦大学的核微探针系统是由英国Oxford Microbeams公司的三元四极透镜来提供聚焦，已得到线度为微米量级的离子束。基于该系统，建立了常用的质子激发X荧光分析 (PIXE)、卢瑟福背散射(RBS)、弹性反冲(ERD)等探测手段，因此，可通过分析微区的元素含量分布、深度分布等信息来研究微米尺度的物质微结构；当离子束斑从毫米到微米，量变到质变，不仅仅能分析更小尺寸的样品，而且也带来离子束分析技术的进步，利用聚焦高能(MeV)微米离子束具有小散射、高贯穿和在穿入样品后仍能保持很高的空间分辨率等特点，建立了扫描透射显微术 (STIM)，结合旋转装置，进行断层扫描，可无损得到样品密度的三维分布。因此基于核微探针的离子束分析技术能为材料制备、生命科学等研究提供有用的信息。