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本文建立了真空中热激励碳化硅谐振器谐振器简化模型,并用解析的方法,考虑内应力的影响,推导了出了器件的幅频公式,得出了利用有限元软件ANSYS9.0对碳化硅微桥谐振器进行了仿真,振幅仿真结果与理论计算结果符合较好,且真空中品质因数Q大于25000.
热激励碳化硅微桥谐振器幅频特性研究
【摘 要】
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本文建立了真空中热激励碳化硅谐振器谐振器简化模型,并用解析的方法,考虑内应力的影响,推导了出了器件的幅频公式,得出了利用有限元软件ANSYS9.0对碳化硅微桥谐振器进行了仿
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所,西安,710071
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
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2005年期
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