高能强流大面积矩形气体离子源的研制

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随着离子注入材料表面改性技术在科研和工业领域的日益发展,人们对离子注入的核心部件-离子源的要求日益提高。为获得大面积、强流和高能且均匀的离子束流,一种新型的高能强流大面积矩形气体离子源被研制出来。该离子源采用轴向永磁会切场和热灯丝放电产生等离子体,由四栅多孔引出系统引出平行的离子束流。加速电压可达到100kV, 最大引出速流100mA,束截面为矩形320mm×150mm。 在长方向上束流密度的不均匀性小于±10℅。可以较好地满足离子注入材料表面改性工业生产的要求。
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