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本文概述了LCD行业ODS替代清洗技术现状，并介绍了UV清洗情况，以及干式超声波、等离子清洗技术在LCD上的应用前景。结果表明：半水基清洗剂比溶剂和水基清洗剂更适合用作ODS替代清洗剂：UV-O3清洗、干式超声清洗、等离子等物理清洗能有效地提高LCD及LCD模块的品质，必将逐步被LcD企业采用。