论文部分内容阅读
光机稳像装置可以控制微摆镜在二维方向转动。为了得到控制电压与偏转角度的关系，需要对微摆镜角度进行测量。本文设计了一种基于位置敏感探测器(PSD)的微摆镜角度测试系统。系统应用激光自准直原理，采用两次45°，折返式结构，缩小了系统的体积并且解决了传统折返式系统难以精准搭建的问题。