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柔性基片上透明导电薄膜(In<,2>O<,3>:Sn和ZnO:Al)的直流磁控反应溅射
【机 构】
：
科学院金属研究所(沈阳)
【出 处】
：
'98全国材料表面与界面的科学与工程研讨会
【发表日期】
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1998年期
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