真空镀类金刚石膜在高档装饰领域应用的基础研究

来源 :第五届环渤海表面精饰发展论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wanghui3321

【摘要】

：

为了提高装饰性硬质膜的综合性能,达到良好的装饰性和使用效果,本文对镀膜过程中偏压对膜发蒙现象和膜厚分布以及Cu 掺杂对类金刚石膜(a-C：Cu)性能影响进行了系列研究.研究结果表明,随着偏压增加,试样边缘发蒙现象越严重,而且试样边缘薄膜越薄甚至损伤基体.随着Cu 掺杂量增加,a-C：Cu 膜表面粗糙度逐渐增加,硬度降低,弹性模量先增加后降低.其中当Cu 含量为5.45at.％时,a-C：Cu 膜具

【作者】

：

梁斐珂曾宪光孙德恩

【机构】

：

重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044 四川理工学院材料腐蚀与防护四川省重点实验室,四川自贡

【出处】

：

第五届环渤海表面精饰发展论坛

【发表日期】

：

2018年11期

【关键词】

：

真空镀膜铜掺杂类金刚石膜装饰镀膜偏压发蒙

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