铜掺杂类金刚石膜相关硕士博士期刊学术论文

为了提高装饰性硬质膜的综合性能,达到良好的装饰性和使用效果,本文对镀膜过程中偏压对膜发蒙现象和膜厚分布以及Cu 掺杂对类金刚......