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本文建立了电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)放电的粒子模型,编制了准三维电磁模粒子模拟与蒙特卡罗模拟程序,通过对氩气ECR放电电离过程的理论分析与数值模拟,得到了放电稳态形成时不同放电区域的电子能量分布,着重研究了不同中性气压以及外加磁场形态对这些区域中电子能量分布特性的影响。模拟结果和分析对于ECR等离子体源在薄膜沉积和刻蚀等微电子工业应用有一定的理论指导意义。