【摘 要】
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射频微机电系统(RF MEMS)开关及开关矩阵是基于 MEMS 技术的微波信号变换的关键元件。与传统的半导体开关器件相比,RF MEMS 开关具有优良的高频特性(插入损耗低、隔离度大、
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院; 航天长征火箭技术有限公司;
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号：10476019)资助项目
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射频微机电系统(RF MEMS)开关及开关矩阵是基于 MEMS 技术的微波信号变换的关键元件。与传统的半导体开关器件相比,RF MEMS 开关具有优良的高频特性(插入损耗低、隔离度大、线性度好)和固有的重量轻、尺寸小、低功耗等优点。其制作工艺与传统的 CMOS 工艺相兼容。本文介绍了串联电阻式开关和并联电容式开关的工作原理,阐述了当前国内外 RF MEMS 开关矩阵的最新研究现状,重点说明了 RF MEMS 开关在 MEMS 移相器及相控阵雷达中的应用,以及 RF MEMS 开关矩阵在卫星有效载荷中的应用并进行了展望。
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