【摘 要】
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本文研究了185nm紫外灯降解高纯水中有机物的机理,185nm紫外灯先光解纯水,产生活性中间体OH、H和e(水合电子),并通过实验测出所形成HO的浓度.实验研究用185nm紫外灯降低高纯
【出 处】
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第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
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本文研究了185nm紫外灯降解高纯水中有机物的机理,185nm紫外灯先光解纯水,产生活性中间体OH、H和e<,aq>(水合电子),并通过实验测出所形成H<,2>O<,2>的浓度.实验研究用185nm紫外灯降低高纯水中有机物浓度,并进行了不同水处理设备降低高纯水中TOC浓度的比较,得出用185nm紫外灯和膜脱气联用技术效果最好.
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