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近年来,低温冷凝泵在现代工业生产和科研过程中的应用越来越广泛。这些领域涉及到现代半导体生产过程, 光学制品以及大型玻璃镀膜生产线,空间模拟系统,真空冶金以及表面工程等。本文简要回顾了近年来低温泵的发展和改进过程,并试图对低温泵的的发展趋势作一展望。
低温冷凝泵在现代化工业中的应用
【摘 要】
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近年来,低温冷凝泵在现代工业生产和科研过程中的应用越来越广泛。这些领域涉及到现代半导体生产过程, 光学制品以及大型玻璃镀膜生产线,空间模拟系统,真空冶金以及表面工程
【机 构】
：
北京宝路多机电设备技术公司;
【发表日期】
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2007年期
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