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针对大型环形平面尤其是非连续平面(带孔、有槽、中间有凸台子、中间间断、异形平面)平面度的检测,研制了一种新型测量设备-激光平面度仪。该仪器采用了激光器、五棱镜与转台组合产生基准平面,以PSD作为探测器;通过测量被测点与基准面的高度差获取平面度数据。该仪器的测量不确度为4.6μm。
激光平面度仪的研究
【摘 要】
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针对大型环形平面尤其是非连续平面(带孔、有槽、中间有凸台子、中间间断、异形平面)平面度的检测,研制了一种新型测量设备-激光平面度仪。该仪器采用了激光器、五棱镜与转台
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,四川成都610209
【出 处】
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二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会
【发表日期】
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2008年5期
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