DMS在“二次配工程”系统(Hook Up)之应用

来源 :第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiaomy
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微电子科技之快速发展,全球化之竞争使得现今产业对于资讯流通之需求日趋重要。在竞争激烈的微电子市场,适时的上市时机(Time to market)是使产品成功并得以达到高报酬率之重要元素,然而微电子产业技术每年都以惊人之速度推陈出新,生产工艺技术,厂房及厂务系统概念也必须精益求精以符合这快速变迁之产业,达到其品质、时程与成本之要求。 半导体及液晶显示器等高科技产业之建厂过程中,从最初的建厂用地选择而后之规划设计及工程施工以及系统测试验收和设备搬迁入厂,这一系列的过程目的不外是希望生产线能早日量产,而扮演量产的终结角色则是二次配系统工程(HOOK UP)。因此二次配工程可说是建厂工程所有项目系统中之压轴重点.其工程定义是为主厂务系统工程的连接于工艺设备机台上之所有相关的水(纯水、冷却水、排水)、电、气(大宗气体、特殊性气体、压缩空气、真空及排气)、化(化学品供应系统)等之配线、配管工程。在二次配系统工程中,欲获得正确的各机台资讯,包括用量、管径、种类等,工艺设备资讯管理系统(DMS:Tool Data Manage-ment System)之应用成为一重要的处理工具,本文乃针对二次配系统工程和DMS之应用关系作一概括性的描述,以为厂务工程和设备工程人员规划及使用之参考。
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