电化学方法制备RE4-xZrxO7及RExOy缓冲层薄膜的研究

来源 :第十二届全国超导学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhouli1017
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电化学沉积技术是一种新颖的、低成本方法,具有工艺简单、设备要求低、易于连续化批量制备等优点.采用电化学沉积技术在双轴织构的Ni-5at.%W(Ni-5W)金属基带上已成功制备出了具有较好c轴取向的RE4-xZrxO7及RExOy缓冲层薄膜,薄膜表面光滑、平整、致密,粗糙度可达到1.4 nm.由电化学沉积技术快速制备的CeO2薄膜厚度超过150 nm无裂纹的出现,克服了物理方法制备CeO2薄膜厚度超过100 nm就会出现裂纹这一现象.结合磁控溅射方法,制备的双层CeO2薄膜可很好地外延,表现出良好的缓冲层性质.分别在单层及双层CeO2薄膜缓冲层上成功制备出具有超导性能的YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导层.
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