AlO或TiO掺杂的SeSZ固体电解质纳米晶薄膜的制备及表征

来源 :2000年中国博士后学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sd63hs63s3
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两种薄膜均在650℃以上开始晶化,温度越高,晶化越完全,在800℃可完全晶化;所得纳米晶颗粒呈纯的萤石结构立方相;铝和钛掺杂的纳米晶颗粒的平均大小分别为47和51nm.铝掺杂的薄膜非常均匀致密,而钛掺杂的薄膜存在少量向微气孔.
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