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锆钛酸铅薄膜材料的离子束刻蚀工艺研究
【机 构】
：
湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105
【出 处】
：
2015中国力学大会
【发表日期】
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2015年期
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