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微机械光天关是光通信网实现光纤到户的关键器件.本文首先回顾了微机械光天关及其阵列的应用背景和现状,对微机械光天关及其阵列进行了分类;并对其结构与工作原理进行了分析;最后,并对其结构设计进行了探讨.
微机械光开关及阵列的研究与发展
【摘 要】
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微机械光天关是光通信网实现光纤到户的关键器件.本文首先回顾了微机械光天关及其阵列的应用背景和现状,对微机械光天关及其阵列进行了分类;并对其结构与工作原理进行了分析;
【机 构】
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微米/纳米加工国家重点实验室,北京大学微电子所(北京)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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