阳极帽辉斑缺陷分析及消除措施

来源 :中国机械工程学会材料学会第二届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wodemeng111

【摘要】

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利用ＳＥＭ、ＡＥＳ、ＥＤＡＸ及微区Ｘ射线衍射等分析手段，系统研究显象管用阳极帽出现的辉斑缺陷，指出辉斑的组分为Ｃａ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｆｅ、Ｏ等，组成为β－（Ｃａ、Ｆｅ）Ｏ·ＳｉＯ＃-[２]、５ＣａＯ、２ＳｉＯ＃-[2]·９（Ｆｅ、Ａｌ）＃-[２]Ｏ＃-[３]等低熔共晶复合氧化物。实验揭示了

【作者】

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安白马营生张成俊

【机构】

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清华大学

【出处】

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中国机械工程学会材料学会第二届年会

【发表日期】

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1990年期

【关键词】

：

阳极帽缺陷分析复合氧化物系统研究射线衍射二次氧化低熔共晶显象管规律性组分组成微区实验工艺

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利用ＳＥＭ、ＡＥＳ、ＥＤＡＸ及微区Ｘ射线衍射等分析手段，系统研究显象管用阳极帽出现的辉斑缺陷，指出辉斑的组分为Ｃａ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｆｅ、Ｏ等，组成为β－（Ｃａ、Ｆｅ）Ｏ·ＳｉＯ＃-[２]、５ＣａＯ、２ＳｉＯ＃-[2]·９（Ｆｅ、Ａｌ）＃-[２]Ｏ＃-[３]等低熔共晶复合氧化物。实验揭示了辉斑出现的规律性，提供了消除辉斑的“二次氧化”法工艺。（本刊录）

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