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介绍了热压印技术的工艺流程、设备研制等,从成本、生产能力等方面探讨了其作为标准生产技术所面临的挑战.介绍了使用具有100nm特征尺寸的5cm×5cm面积Cr模版在PMMA胶上的压印实验结果和试验装置.
纳米压印光刻技术及其设备研制
【摘 要】
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介绍了热压印技术的工艺流程、设备研制等,从成本、生产能力等方面探讨了其作为标准生产技术所面临的挑战.介绍了使用具有100nm特征尺寸的5cm×5cm面积Cr模版在PMMA胶上
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院,中国科学院研究生院,中国科学院研究生院
【发表日期】
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2005年z1期
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