【摘 要】
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本文首次分布应用我们研究成功的在SEM中能无损分层透视内窥检测半导体和集成电路及真空微电子器件的新检测法(简称分层法)和新检测仪(简称分层仪)观察和测量到在亚表面层中
【出 处】
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第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议
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本文首次分布应用我们研究成功的在SEM中能无损分层透视内窥检测半导体和集成电路及真空微电子器件的新检测法(简称分层法)和新检测仪(简称分层仪)观察和测量到在亚表面层中各层半导体的缺陷和多层结构微电子器件各层的微结构的测量结果及照片.测量结果突破了扫描电镜的传统应用功能.本文还提出增强图像信噪比的方法.
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