【摘 要】
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<正>薄膜技术应用广泛,如大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、激光、MEMS、传感器、太阳能电池、镀膜玻璃以及材料的表面改性等,都广泛采用了薄膜技术
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<正>薄膜技术应用广泛,如大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、激光、MEMS、传感器、太阳能电池、镀膜玻璃以及材料的表面改性等,都广泛采用了薄膜技术。近些年来,薄膜技术发展迅速,推动了镀膜材料及溅射靶材的迅猛发展,提出了对相关镀膜材料及溅射靶材的新的需求,。据估计,截至到2015年11月,我国有相关材料研发、生产单位超过100家,相关材料市场规模超过20
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