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本文首先分析了半导体产业中洁净室内静电产生的原因及现象.分析了静电及静电放电的危害,在此基础之上介绍了洁净室内静电控制技术.
半导体产业中的洁净室内静电及其控制
【摘 要】
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本文首先分析了半导体产业中洁净室内静电产生的原因及现象.分析了静电及静电放电的危害,在此基础之上介绍了洁净室内静电控制技术.
【机 构】
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Ion Systems Inc.
【出 处】
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第六届中国国际(上海)洁净技术论坛
【发表日期】
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2003年9期
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