【摘 要】
：
本文在常温下使用ZnAl合金靶材,采用直流磁控反应溅射技术,在PI柔性衬底上制备掺铝氧化锌(ZnO：Al,AZO)热电薄膜.通过改变氩氧比及退火热处理对薄膜的微结构和热电性能进行
【机 构】
：
深圳大学物理科学与技术学院,深圳大学薄膜物理与应用研究所,深圳市传感器技术重点实验室,深圳518060
【出 处】
：
TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
论文部分内容阅读
本文在常温下使用ZnAl合金靶材,采用直流磁控反应溅射技术,在PI柔性衬底上制备掺铝氧化锌(ZnO：Al,AZO)热电薄膜.通过改变氩氧比及退火热处理对薄膜的微结构和热电性能进行调控.研究发现：所制备的AZO薄膜均呈N型热电半导体特性,为六方纤锌矿结构,具有明显的c-轴择优取向.退火温度为523 K的AZO薄膜具有最优的结晶特性.氩氧比为40：6,退火温度为523 K时,薄膜的功率因子随着温度的升高逐渐上升,其功率因子也是不退火热处理条件下最大的.在获得较优的热处理条件下,本文进一步研究了不同Al掺杂量对AZO薄膜热电性能的影响.结果表明,Al掺杂量为3％的AZO薄膜的结晶最好,而且Seebeck系数也最高,绝对值为101μV/K；Al掺杂量为2％的AZO薄膜的电导率和功率因子最高,分别为3.7× 104S/m和0.53× 10-4W/mK2.
其他文献
在社会发展的大背景下,人们对于教育的要求也越来越高,教育改革也越来越趋近完善.初中英语在人的一生中起着非常重要的作用.在新课改时期,许多教师实行了“合作”的教学方式,
膨润土经柱撑改性后,具有大的比表面积和高的表面活性,对水中污染物有很好的去除能力。本文对柱撑膨润土的制备、成型及其在水处理中的应用进行了研究。 以聚合羟基Al、Ti
阻变随机存储器具有结构简单、操作速度快、耐受性与缩放性好、功耗低等优势，在下一代信息存储领域具有广阔的应用前景。目前学术界和工业界普遍认为电场诱导的纳米尺度导
燃料电池是一种将储存在燃料和氧化剂中的化学能不经燃烧直接转化为电能的发电装置。由于它具有能量转化率高、低排放、能量和功率密度高等优点而被认为是未来的理想电源。双极板是燃料电池的重要组成部分,它为电池分配燃料与氧化剂并串联相邻电池。双极板分金属型和石墨型两种。其中石墨型双极板由于具有耐腐蚀,质量轻等优点而成为今后的发展方向。但存在于石墨板-气体扩散层间的接触电阻阻碍了石墨板性能的进一步提高。寻找有效
Recently,tremendous attention has been directed toward the thinning and shaping of solids into so-called nanomembranes,offering a unique and fantastic platf
初中教学过程是教师和学生双向的沟通、交流、理解和创新的过程,现代社会的不断发展,信息化时代的到来,学生不再是仅仅学会课堂的知识,还要培养自身对问题的理解和分析能力,
实验首先研究了膨胀床的基本流体力学性能，考察了流速u、沉降床高度H0和料液粘度μ对轴向分散系数Dax、理论塔板数N、以及Peclet数的影响。利用RTD（平均停留时间分布）测定的方
Cr2AlC属于三元层状化合物MAX相,其兼具金属和陶瓷的综合性能,如金属的导热、导电、可加工性,陶瓷的抗氧化、耐腐蚀等性能,可以预见其作为高温防护涂层具有广阔的应用前
目前，作为特殊形态材料的薄膜，已经成为微电子学、光电子学、磁电子学、刀具超硬化、传感器、太阳能利用等新兴交叉学科的材料基础，并广泛渗透到当代科技的各个领域。因受到
自古以来,人们追求健康长寿的步伐从未停止过,尽管现代医疗技术大大延长了人类的寿命,但衰老仍是人类不可避免的生命过程。虽然衰老本身不是疾病,然而伴随着衰老而来的衰老相关疾病,如心血管疾病、神经退行性疾病、Ⅱ型糖尿病及部分癌症等,摧残着老年人的身体,增加了家庭和社会负担。老龄化已成为现代人类社会发展的必然趋势,且随着时间发展,更会成为不可避免的社会问题,那么如何提升人类的健康寿命,而非仅仅为了长寿遭受