【摘 要】
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提出复色差动共焦扫描测量方法,引入复色光照明,利用复色光聚焦的轴向色散特性,形成两个部分重叠的测量区域,获得两个可交替工作的具有双极性跟踪特性的线性测量区,实现轴向
【机 构】
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哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150001
【出 处】
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二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会
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提出复色差动共焦扫描测量方法,引入复色光照明,利用复色光聚焦的轴向色散特性,形成两个部分重叠的测量区域,获得两个可交替工作的具有双极性跟踪特性的线性测量区,实现轴向量程扩展。仿真结果表明,在不牺牲系统分辨力前提下,所提出的方法使轴向量程扩展1倍,并保留传统差动共焦测量能够抑制共模噪声的优点,为解决精密微沟槽机械元件、微光学元件和微光机电元件等大台阶精密微结构元件结构参数测量提供一种新的测量方法。
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