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通过微机械加工工艺制备了气敏传感器的三维微结构，采用溶胶－凝胶镀膜技术在此三维微结构上制备了ＷＯ＜，３＞气敏薄膜，借助ＸＲＤ、ＳＥＭ分析了ＷＯ＜，３＞薄膜的结构和表面形貌，测试了传感器的气敏特性。
溶胶-凝胶工艺制备WO<,3>微结构气敏传感器
【摘 要】
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通过微机械加工工艺制备了气敏传感器的三维微结构，采用溶胶－凝胶镀膜技术在此三维微结构上制备了ＷＯ＜，３＞气敏薄膜，借助ＸＲＤ、ＳＥＭ分析了ＷＯ＜，３＞薄膜的结构和表面形貌，测试了传感器的气敏特性。
【机 构】
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院电子所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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