气敏薄膜相关论文
以SnO2、 ZnO等为基的传统半导体金属氧化物气敏传感器由于结构简单、制备方便、稳定性好等特点已经得到广泛的应用,为了获得......
利用低温空气等离子体反应溅射技术淀积ＳｎＯ_２薄膜，研究了ＳｎＯ_２薄膜气敏元件对几种 可燃性气体的气敏效应及其性能；通过掺杂提高了元件的选择......
将微热板与平行板静电执行器结合,设计出一种能够保持温度恒定的同时,调节气敏薄膜(SnO2)应力的系统结构.采用有限元软件(COMSOL M......
用Ni(Ac)24H2O、CH3OH、Cuq(CH3OOO3)2、乙酰丙酮作原料，使Ni(Ac)2 2H2O在CH3OH中水解得到铜掺杂的Ni(OH)2,溶胶。通过旋涂法制得铜......
用Ni(Ac)2·4H2O、CH3OH、稀土硝酸盐、乙酰丙酮作原料,使Ni(Ac)2·2H2O在CH3OH中水解得到稀土掺杂的Ni(OH)2溶胶.通过旋涂法制得......
该文研究了用无机溶胶凝胶法制备的VO薄膜的XRD结果及其气敏特性。凝胶在400℃下烧结12小时后完全形成了VO晶体。掺3wt℅Pt的VO薄......
采用ｓｏｌ－ｇｅｌ浸渍涂布方法在ＡｌＯ陶瓷衬底上制备ＳｎＯ气敏薄膜及元件，分析了掺杂薄膜的结构、成份和表面形貌，测试了薄膜元件的气敏特性。元件在......
采用溶胶一凝胶法，以氯化锡（ＳｎＣｌ２。）和无水乙醇为反应起始物，经过加热回流、热处理等工艺．制备出了掺硅和锑的氧化锡（ＳｎＯ２）气敏薄膜，并制成了气敏元......
气体传感器阵列不仅能弥补单一气体传感器选择性差的缺点，还可以充分利用其交叉敏感性，并结合一定的模式识别技术，实现传感器的高精度......
学位
对于多功能、智能化的‘电子鼻’系统来说，传感器阵列的结构和性能是关键因素。为了使传感器阵列与微电子平面工艺相兼容，本课题采用......
本论文从气体传感器研究的三个主要方面——气敏材料、器件结构、敏感特性及机制出发,设计了化学场效应管阵列NO2气体传感器;利用......
在该论文中作者根据LB膜的制备及气敏特性研究的需要,设计合成了一系列不同结构的不对称取代两亲性酞菁化合物,研究了各种酞菁化合......
该文采用溶胶凝胶法成功制备了二维VO系列气敏薄膜,特别是为了克服单层VO气敏薄膜的退化,在单层气敏膜上再用溶胶凝胶法镀一层钝化......
本文通过实验结果证实了扩散反应模型，证实了Ｆｉｃｋ扩散定律可推广用于有表面反应的金属氧化物多孔材料中，支持了以兰缪－亨希尔伍德机理和传......
采用等离子体化学气相沉积法制备了氧化铁气敏薄膜；用扫描电子显微镜分析了不同衬底及不同衬底温度对氧化铁薄膜表面形貌的影响。......
本文阐述了ＩＴＯ气敏薄膜的制作过程、工作原理与气敏特性的测试方法和它的应用前景，对掺入Ｐｔ前后的ＩＴＯ气敏薄膜的灵敏度进行了对比研究。......
α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３／ＳｎＯ＿２气敏薄膜的结构与性质娄向东，杨秀清，李靖华，沈荷生，沈瑜生（河南师范大学化学系新乡４５３００２）（中国科学技术大学材料科学与工程系合肥）关键词α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３，ＳｎＯ＿２，双......
掺银ＳｎＯ_ｘ薄膜的催化作用张勇，周坤粦，曹伟民（中国科学院成都有机化学研究所成都６１００４１）关键词气敏薄膜，表面掺杂，催化ＳｎＯ２是重要的气敏传感材料，采用纳......
用直流气体放电活化反应蒸发法制备了二氧化锡超微粒子薄膜，测量了薄膜的阻抗谱，验证了超微粒子薄膜的内部模拟等效电路。研究了温度......
叉指电极可有效降低金属氧化物半导体气敏薄膜的测试电阻,有利于薄膜气敏性能的测量,已广泛用于薄膜型气体传感器上。而叉指电极的......
XPS分析表明,用直流溅射法制备的掺钯薄膜气敏元件,钯的溅射率比锡高,在薄膜中钯的含量高于靶中的含量、和纯SnO_2薄膜相比,此元件......
制备包含α－Ｆｅ２Ｏ３与ＳｎＯ２的双层气敏薄膜，研究发现：Ａｒ＾＋刻蚀可同时除去薄膜表面的物理吸附氧和化学吸附氧，剩下晶格氧，因而Ｏ１Ｓ的ＸＰ谱图变得对称。......
简介了喷墨打印制备薄膜技术的优势与特点,配制了SnO2前驱溶液墨水,并利用该技术在金叉指氧化铝基片上喷镀SnO2前驱溶液墨水,而制......
用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌（ＺｎＯ）薄膜和掺Ａｇ、掺Ｐｔ与掺Ｐｄ的ＺｎＯ三种气敏光学薄膜。测量了这些薄膜在ＮＯｘ气体中的透射光谱，然后由透射光谱获得了......
喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO_2多孔薄膜。根据打印机的定位......
对镀Ｐｔ的Ｆｅ２Ｏ３／ＳｎＯ２双层气敏薄膜进行了ＳＥＭ和ＸＰＳ分析，表明贵金属表面修饰技术对敏感薄膜的改性作用。对制成的元件进行了测量，证实了表面技术对敏感薄膜......
用ＳＥＭ对ＳｎＯ２／Ｆｅ２Ｏ３样品的断面结构进行了观察研究，发现ＳｎＯ２是在Ｆｅ２Ｏ３柱状结构的间隙中开始生长的，据此提出了双层膜结构生长热力学模型，由模型推出的结论与实......
WO3薄膜是一种智能材料，在电致变色、共催化和气敏性方面具有广阔的应用前景。综述了WO3薄膜材料的制备方法及现状，并对其优缺点进行......
以Ｓｎ（ＯＨ）４水合胶体为原料，采用溶胶－凝胶方法在Ｓｉ片上制备了ＳｎＯ２纳米晶薄膜，利用差热、热重、Ｘ光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分......
采用溶胶一凝胶法，以氯化锡和无水乙醇为反应起始物，经过加热回流，热处理等工艺，制备了掺硅和锑的氧化锡气敏薄膜，并制成了气敏元件，元件......
采用溶胶-凝胶浸渍提拉法（Sol-Gel Dip-Coating,SGDC）制备SnO2纳米晶薄膜气敏传感器。较系统地研究了掺杂量、镀膜层次和热处理温度......
以SnCl-2*2H-2O及乙醇为原料，利用溶胶－凝胶法制备SnO-2纳米薄膜.探讨了制膜的工艺条件，用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄......
以金属有机化合物(MO)四甲基锡[sn(CH_3)_4]为源物质,利用等离子体增强化学气相沉积技术,分别在单晶硅片、三氧化二铝陶瓷基片上淀......
以无机盐SnCl4@5H2O,SbCl5,NiCl2@6H2O为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了Sb2O3和NiO掺杂的SnO2薄膜.研究了SnO2:Sb:Ni薄膜的电学和气......
针对矿井瓦斯检测中存在的问题,采用单芯光纤耦合的反射式光束偏转法检测技术,结合Ag/SnO2金属复合薄膜与瓦斯气体接触后发生气敏......
用磁控溅射法在集成了铂加热电极的Si基膜片型微结构单元上制备了SnO2和SnO2-Ag敏感薄膜。用温度调制方式和锯齿波加热方式研究了......
本文依据等离子体化学气相沉积法（ＰＣＶＤ）制备ＳｎＯ２导电薄膜的过程，提出一种数学模型，通过数值计算，讨论了沉积的关键参量一活性粒了沉积速率与过程......
制备了ＳｎＯ３／ＺｎＯ及ＺｎＯ／ＳｎＯ３多层结构的气敏薄膜，用能谱结合氩离子刻蚀的方法及Ｘ射线衍射法，对薄膜的表面吸附。膜间的相互与组成等进行了研究，结果表明：薄......
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石墨烯材料自从2004年被科学家发现以来,因其独特的电学、力学和物理化学性能,大的比表面积以及高的电子迁移率而被大量学者关注,......
本文根据光传输理论导出介导消光系数，折射率与介质电磁参数，光波频率，电偶极子浓度及迁移率等的关系，分析了光激发与增加气敏介质的氧......
<正>引言近几年来,燃气汽车以其优良的清洁性、经济性等优势,迅速得到了广泛的应用,尤其是城市出租车、公交车及新疆等天然气资源......
利用SnO2/Pt气敏薄膜对瓦斯气体的选择性吸附作用将引起声表面波在其表面的传播速度发生相应改变的性质,并结合激光超声检测技术,......
