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CG-60离子注入机及应用
【机 构】
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市机电研究院
【出 处】
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中国机械工程学会第三届全国表面工程大会
【发表日期】
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1996年期
其他文献
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ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｍ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）技术是２１世纪的硅集成电路技术。离子注入ＳＩＭＯＸ（Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙ Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ Ｏｘｙｅｎ）材料是最重要的ＳＯＩ材料。报道了氧注入单晶硅，经过高温长时间退火后，形成质量很好的ＳＩＭＯＸ薄膜材料。用多种方法测量了ＳＯＩ薄膜材料的表面硅
该文利用离子注入的方法，分别将Ag和Cu离子掺入ZnS晶体进行了实验研究。着重检测Ⅰ层的存在和厚度。并在Ag或Cu掺杂的ZnSMIS二极管上都得到了蓝色电致发光。通过研究表明：根据
该文主要介绍了泥浆泵缸套离子注入表面改性、航空液压泵配流盘离子注入表面改性两项工艺。离子注入处理后的缸套使用寿命提高了２倍，配流盘单位行程回油量下降到处理前的1/16。
该文主要介绍了泥浆泵缸套离子注入表面改性、航空液压泵配流盘离子注入表面改性两项工艺离子注入处理后的缸套使用寿命提高了２倍，配流盘单位行程回油量下降到处理前的１／６。
随着离子注入材料表面改性技术在科研和工业领域的日益发展，人们对离子注入的核心部件－离子源的要求日益提高。为获得大面积、强流和高能且均匀的离子束流，一种新型的高能强流大