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会议论文
微机电系统中气体的相似参数
微机电系统中气体的相似参数
来源 :钱学森科学贡献暨学术思想研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:raulhanlin
【摘 要】
:
本文介绍了钱学森在现代稀薄气体动力学方面的学术成果,讨论了稀薄空气动力学在诸如蒸馏和化工作业的高真空泵设计等微机电系统中的应用.
【作 者】
:
樊菁
沈青
【出 处】
:
钱学森科学贡献暨学术思想研讨会
【发表日期】
:
2001年12期
【关键词】
:
微机电系统
稀薄气体动力学
航天工程
真空加工技术
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本文介绍了钱学森在现代稀薄气体动力学方面的学术成果,讨论了稀薄空气动力学在诸如蒸馏和化工作业的高真空泵设计等微机电系统中的应用.
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