【摘 要】
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在Ba(OH)2溶液中加入添加剂形成不同的电解液,在Ti板上通过微弧氧化工艺制备BaTiO3薄膜,通过单因素实验得出甘油,纳米TiO2,乙二醇三种添加剂能改善BaTiO3薄膜的表面质量.以Ba
【机 构】
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河南平高电气股份有限公司 河南平顶山 467001
【出 处】
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2013年“玉柴杯”全国机电企业工艺年会暨第七届机械工业节能减排工艺技术研讨会
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在Ba(OH)2溶液中加入添加剂形成不同的电解液,在Ti板上通过微弧氧化工艺制备BaTiO3薄膜,通过单因素实验得出甘油,纳米TiO2,乙二醇三种添加剂能改善BaTiO3薄膜的表面质量.以Ba(OH)2、甘油、乙二醇和纳米TiO2为四因素设计L9(43)四因素三水平正交实验,以表面粗糙度和薄膜生长速率为指标得到了快速制备形貌较好的BaTiO3薄膜的最优溶液体系.物相分析(XRD)、能谱分析(EDS),扫描电镜(SEM)和HP4284电容探测仪表征了在最优溶液体系下生成的BaTiO3薄膜的物相组成、元素组成、表面形貌及薄膜性能.结果表明,最优溶液体系下获得的薄膜主要由四方相BaTiO3构成,薄膜表面质量较好,同时具备较高的介电性能:100Hz下的介电常数和介质损耗(tanδ)值分别为227.3和0.043.
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