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以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,采用酸碱两步催化法制备了SiO2醇凝胶.醇凝胶分别经过TEOS母液、六甲基二硅胺烷(HMDSA)处理,并采用二氧化碳(CO2)超临界干燥法制备了密度在30～100mg/cm3的SiO2气凝胶.用傅立叶变化红外(FT-IR)对疏水性SiO2气凝胶进行了研究.扫描电镜图谱研究了气凝胶改性前后的微观网络结构,表明经改性后的气凝胶微观骨架变大,部分细小的网络结构消失.研究结果表明经过改性的气凝胶在潮湿环境中具有极好的尺寸稳定性和疏水性能.采用精密车床加工得到了满足物理试验要求的惯性约束聚变(ICF)的微柱.