论文部分内容阅读
通过磁控溅射镀膜的方法在硅衬底分别沉积ZnO种子层和不锈钢薄膜，并通过刀片划开形成微米级沟道，通过水热生长的方法在沟道中生长ZnO纳米棒阵列，成功制备出生长在氧化锌种子层的侧面，与硅衬底平行的ZnO纳米棒阵列。并且这种方法不受衬底材料的影响，可以使用任何其他材料。这种结构和制备方法为纳米器件的构建开辟了新的方法，具有非常重要的应用价值。