【摘 要】
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利用双层辉光离子渗金属技术,用钼板及钼丝等作为提供钼原子的一个供给阴极,用铜板作为收集被溅射出的钼原子的另一收集阴极,公共阳极接地.在辉光放电的条件下,利用空心阴极
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利用双层辉光离子渗金属技术,用钼板及钼丝等作为提供钼原子的一个供给阴极,用铜板作为收集被溅射出的钼原子的另一收集阴极,公共阳极接地.在辉光放电的条件下,利用空心阴极效应及尖端放电现象,将供给极上的钼丝以原子、离子或粒子团的形式溅射出来.这些微粒子,在电场的作用下,将定向向收集极运动,而在运动中被迅速冷却,并被收集在收集极的铜板上.用这种方法可以形成纳米级的金属氧化物粉末.经透射电镜分析及研究,其尺寸在几~几十纳米之间.本文将详细阐述试验的工艺方法、工艺参数、试验装置,试验结果及结果分析.并就影响结果的各种因素作初步讨论.
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