【摘 要】
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靶材作为重要的磁控溅射材料，广泛用于平板显示器、太阳能、半导体等领域，但其具有噪声比较高、声衰减较大、各向异性的声特性。多数靶材的粉末冶金工艺决定了其内部缺陷的产生机理，后续在其与背板绑定过程中的粘结情况，都是靶材质量关注的重要因素。高频超声C扫描技术可以有效的同时检测靶材内部缺陷和绑定粘结情况，在工艺方面，其声场聚焦特性、扫查速度与步距等参数的优化选择对检测结果影响较大；靶材C扫描与常规C扫描的
【机 构】
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硕德(北京)科技有限公司,北京100107
【出 处】
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全国无损检测学会超声检测学术交流会暨钢结构检测技术交流会
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靶材作为重要的磁控溅射材料，广泛用于平板显示器、太阳能、半导体等领域，但其具有噪声比较高、声衰减较大、各向异性的声特性。多数靶材的粉末冶金工艺决定了其内部缺陷的产生机理，后续在其与背板绑定过程中的粘结情况，都是靶材质量关注的重要因素。高频超声C扫描技术可以有效的同时检测靶材内部缺陷和绑定粘结情况，在工艺方面，其声场聚焦特性、扫查速度与步距等参数的优化选择对检测结果影响较大；靶材C扫描与常规C扫描的设备要求差异需要明确给出。本文重点介绍了靶材C扫描检测中的工艺和设备要求，并给出了典型的应用案例。
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