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会议论文
电注入激射的Si衬底GaN基微腔激光器
电注入激射的Si衬底GaN基微腔激光器
来源 :第十五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:atianjun
【摘 要】
:
硅基光子学与传统硅基微电子工艺兼容,被认为是实现光互联和光电集成的一种可能路径.然而硅为间接带隙半导体,无法高效发光.GaN基材料为第三代半导体,发光波长涵盖可见光波段,具有发光效率高、化学稳定性好等优点.
【作 者】
:
冯美鑫
何俊蕾
周宇
钟耀宗
高宏伟
孙钱
刘建平
张书明
杨辉
【机 构】
:
中国科学院纳米器件与应用重点实验室,苏州,215123 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏
【出 处】
:
第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2016年5期
【关键词】
:
硅基光子学
Si衬底GaN
微腔激光器
微盘激光器
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硅基光子学与传统硅基微电子工艺兼容,被认为是实现光互联和光电集成的一种可能路径.然而硅为间接带隙半导体,无法高效发光.GaN基材料为第三代半导体,发光波长涵盖可见光波段,具有发光效率高、化学稳定性好等优点.
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