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该文论述离子束辅助蒸发光学薄膜技术对离子束的要求，离子束的产生方式，靶场离子源的特性，应用靶场离子源辅助蒸发光学薄膜的实验研究结果，从膜层与基片结合的牵固度，膜层断面的透射电子显微镜照片，膜层结构的X衍射分析讨论了离子对成膜过程的影响。（本刊录）
离子束的产生及辅助蒸镀发光学薄膜
【摘 要】
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该文论述离子束辅助蒸发光学薄膜技术对离子束的要求，离子束的产生方式，靶场离子源的特性，应用靶场离子源辅助蒸发光学薄膜的实验研究结果，从膜层与基片结合的牵固度，膜层断面的透
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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中国光学学会85年光学薄膜学术讨论会
【发表日期】
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1985年期
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