膜厚监控相关论文
提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度, 避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差; 通过算......
本文提出了一种新的监控软X光多层膜膜厚的方法——转速控厚法,利用这种方法镀制的设计周期厚度分别为8.4和10nm,周期数达50对和30......
针对目前光学镀膜过程中最常用的两种光学膜厚监控方法--单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,对现行用作自动膜厚控制的数据处......
通过对宽光谱膜厚监控原理分析，设计出一套便携的嵌人式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440，采用Linux操作......
离子束溅射(IBS)系统具有稳定的沉积速率和良好的工艺重复性,然而在沉积初期其速率仍会发生变化.为研究其变化规律,采用离子束溅射......
针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,......
锐截止滤光片镀制的中心问题是膜厚监控，采用“定值法”不仅可使该滤光片的截止陡度大和通带透射率高，而且具有操作简单，容易掌握，以及......
基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光......
该论文将着重讨论软X射线多层膜制备时的膜厚监控技术与工艺条件,及其对薄膜性能的影响.在第一章中综述了软X射线多层膜的研究现状......
本文从理论和实验两个方面讨论了紫外滤光片的设计以及其在真空环境中的制备。从Maxwell方程组入手，推导了薄膜的特征矩阵，建立了计......
在光学薄膜器件的制备过程中,薄膜厚度是实现器件特性的最重要的参数,薄膜制备的成功与否取决于在薄膜生长过程中能否对各层薄膜的......
该文针对窄带滤光片的膜系设计、监控手段、误差分析进行了深入的理论研究,并进行了大量的实验研究.首先,分析了多腔窄带滤光片的......
该文研究了光学多层镀膜机的光学监控原理和实际光路,针对近红外膜厚监控信号弱、噪声大和信噪比低等特点,利用相关测量、锁相放大......
本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等......
讨论了 CCD的主要特性及对宽带膜厚监控系统的影响 ,介绍了典型的 CCD数据采集系统。建立了一套基于 CCD的宽带膜厚监控系统 ,并对......
通过计算机模拟多半滤光片的膜层控厚过程，分析不同的过正极值方法和过正参数对滤光片光学技术指标和监控成功率的影响。结果表明，过......
介绍了一种基于LabVIEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言（LabVIEW）在此系统中的应......
在嵌入式Linux基础上，从图形用户界面的设计、数据处理模块的设计以及两部分联合工作等方面介绍了实时光学膜厚监控系统的设计和实......
极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度......
在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控.运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀......
为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率,介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法：一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层......
利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进......
单波长监控很难精确控制宽波段上的光学特性.若采用宽光谱扫描可以在很宽的波长范围内监控薄膜特性,则控制既直观又准确.虽然宽光......
高精度高性能的光学薄膜厚膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键，本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法，该方法所采用......
在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控.运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀......
由透过率和波长的函数关系可知,膜系中每一层都可能存在若干波长的光信号会出现极值偏转.利用这些波长作为每层膜的监控波长,满足......
为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应......
本文介绍了一种高性能的实时宽光谱膜厚控制仪的设计与制作,详细介绍了该系统的工作方式及设计思想.实验表明该系统可以用于光学薄......
防伪透明膜是一种新型的防伪材料，其防伪性能好，装饰性强且不影响防伪物品表面原有文字图案等信息的直观性。该型模压激光防伪透明基......
在空间光通信系统中，为满足光学系统对滤光膜的特殊要求，研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜，实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要......
根据太阳跟踪器系统中窄带滤光片的使用要求,太阳光谱在波长750nnm处的光能比较稳定,能避免杂光干扰这一特点,研制一种太阳跟踪器......
银经常被应用于制备诱导增透滤光片,在这种宽带滤光片中,银膜的厚度一般在几个纳米,这样使得精确监控银的厚度很困难.提出一种简单......
光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关,为了制备出符合要求的光学薄膜产品,在制备过程中必须监控膜厚。对于规整膜系来说......
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪......
借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均......
在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表......
在光学薄膜器件的制备过程中,薄膜厚度是实现器件特性的最重要的参数,薄膜制备的成功与否取决于在薄膜生长过程中能否对各层薄膜的......
窄带滤光片作为滤光和选择谱线的器件,在激光技术,医疗,卫星遥感探测以及目前正在飞速发展的光通讯技术中有着广泛的应用。窄带滤......
针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率（反射率）的固有缺陷，提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数......
在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰......
