【摘 要】
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提出了一种MEMS器件系统级设计与仿真系统软件体系结构与实现方法，该系统支持与IC设计的接口。系统由多个软件模块构成，支持MEMS器件版图输入与编辑、工艺流程与工艺参数编辑、MEMS器件三维结构生成、图形显示、单元解析与SPICE网表生成、MEMS器件结构参数自动优化等设计。详细介绍了系统结构及功能，并以典型MEMS器件为例说明设计过程。
【机 构】
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东南大学 MEMS教育部重点实验室,南京 210096
【出 处】
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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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提出了一种MEMS器件系统级设计与仿真系统软件体系结构与实现方法，该系统支持与IC设计的接口。系统由多个软件模块构成，支持MEMS器件版图输入与编辑、工艺流程与工艺参数编辑、MEMS器件三维结构生成、图形显示、单元解析与SPICE网表生成、MEMS器件结构参数自动优化等设计。详细介绍了系统结构及功能，并以典型MEMS器件为例说明设计过程。
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