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椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和先学性质，需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据，而且椭偏光谱数据的分析依赖于模型。由于样品材料可能存在多种不同的模型，对应椭偏光谱分析的结果就存在多解的问题，文中以硅衬底上二氧化硅膜的简单样品作例子，说明椭偏光谱的分析在可以明确剔除一些模型结果的前提下，仍然可能存在多种合理的模型结果，但是这些结果可以从物理意义上统一起来。