【摘 要】
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MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放.本文对现有的化学法、物理法和生物法几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优
【机 构】
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苏州金宏气体股份有限公司,苏州,215152
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MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放.本文对现有的化学法、物理法和生物法几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点.从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低的大气的污染.
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