非晶金刚石膜冷阴极

来源 :第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mj3140
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采用二极管结构,对真空磁过滤弧源沉积非晶金刚石薄膜(amorphous diamond:a-D)的电子场发射性能进行了研究。结果发现,非晶金刚石薄膜具有优异的电子发射性能。其发射电流密度达到5mA/cm<'2>以上,阈值电场小于3V/μm。同时,我们还观察到了金刚石薄膜的面发射,此现象在国际上还未曾报导。另外,非晶金刚石薄膜作为平板显示器冷阴极材料,具有很大的应用潜力。
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