【摘 要】
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引言大气压冷等离子体射流作为一种新的大气压低温等离子体发生装置受到了国际上等离子体研究领域的各种关注.由于具有无需真空装置,操作简单,低成本;无废气,无污染;活性粒子密度高等优点,因此无论是在传统的材料制造、加工和改性等应用领域,还是在新兴起的生物医学、环境工程等领域,等离子体冷等离子体射流都表现出良好的应用前景.目前对大气压冷等离子体的研究大部分集中在等离子体射流在放电空间上的传播机理上,然而对
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院,大连
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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引言大气压冷等离子体射流作为一种新的大气压低温等离子体发生装置受到了国际上等离子体研究领域的各种关注.由于具有无需真空装置,操作简单,低成本;无废气,无污染;活性粒子密度高等优点,因此无论是在传统的材料制造、加工和改性等应用领域,还是在新兴起的生物医学、环境工程等领域,等离子体冷等离子体射流都表现出良好的应用前景.目前对大气压冷等离子体的研究大部分集中在等离子体射流在放电空间上的传播机理上,然而对于冷等离子体射流与被处理材料之间的相互作用的研究还存在不足.
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最近几年科学和并行计算领域正经历着深刻的变化,一方面科学计算正在从只使用CPU的"中央处理"向CPU与GPU并用的"协同处理"发展,另一方面异质系统架构的计算机和处理器已经成为业界的发展方向.目前最先进的超级计算机如美国的Roadrunner,我国的天河一号A和天河二号都采用的这种架构.
引言等离子体的均匀性是等离子体在工业方面应用的前提之一,圆柱形表面波等离子体源被认为在这方面具有很大的潜质.本实验以石英圆棒作为介质波导引导微波并在棒的周围激发等离子体,并传导表面波,比较在不同入射功率和压强下等离子体的密度和温度.
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引言感性耦合等离子体具有等离子体密度高,放电气压低,装置简单,均匀性好等优点,因此在工业上得到了广泛应用.ICP源具有两种放电模式,E模式和H模式,随着外界输入参数的变化,会发生明显的模式跳变,从而引起等离子体特性发生突变,对等离子体刻蚀和薄膜制备工艺产生重要的影响.因此,系统研究ICP的模式跳变行为具有重要的指导意义.