【摘 要】
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高性能的长波红外窄带滤光片是空间相机及扫描仪等有效载荷的关键部件。利用多半波结构加局部优化的方法设计中波红外窄带带通滤光片,同时基片反面镀制长波通膜层用以截止前
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室;
【基金项目】
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重点实验室基金(9140C540303130C54003)资助
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高性能的长波红外窄带滤光片是空间相机及扫描仪等有效载荷的关键部件。利用多半波结构加局部优化的方法设计中波红外窄带带通滤光片,同时基片反面镀制长波通膜层用以截止前面的光谱,设计光谱8.05-8.35um透射率大于90%,小于7.95um和8.45um~14um截止深度小于0.5%。采用等离子体辅助电阻蒸发沉积工艺制备了滤光片。测试结果表明,在透射波段范围上的平均透射率为83.2%,截止波段截止波段<7.95 um的平均透射率为0.31%,8.45~14.00um平均透射率为0.11%。多半波结构加局部优化的方法对于制备长波红外窄带带通滤光片具有膜系结构简单,便于工艺实现。
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